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东京精密硅片探针台UF3000EX
世界第一的采用下一代技术的高品质的探针台，采用新的运算法则的晶圆的搬送及相关新技术的协作的使得产能的显著提高成为可能。高速度，低噪音的X，Y轴平台得宜于新的驱动系统的创建。Z轴确保为世界级的负载容量及高精度。在整个的布置上通过最佳的结构设计与拓扑学的良好结合可靠的消除平面上的受力。
在高级的OTS位置处理系统及彩色晶圆图象对准系统并装备小的极大倍率放大功能，UF3000EX在业内成为一台引人注目高精度，可操作性的设备。
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