Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/轮廓测量装置)SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
三丰轮廓测量装置525系列 — 表面粗糙度/形状测量仪
三丰轮廓测量装置基本技术参数:
基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩 重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (主机) 轮廓测量技术参数:
X1 轴 测量范围: 200mm 分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC) 0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s 移动方向: 向前／向后
直线度: 2μm/200mm 以X1 轴为水平方向上
指示精度 (20ºC 时): ±(1+4/200)μm(SV-C3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(SV-C3000CNC) 倾角: -45º - +10º
分辨率: 0.000225º 旋转速度: 1rpm Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm 分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器 驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆) Z1 轴 (检出器) 测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3000CNC), 0.05μm (SV-C4000CNC)
检测方法: 线性编码器 (SV-C3000CNC),
激光全息测微计 (SV-C4000CNC)
直线位移: ±(2+|4H|/100)μm(SV-C3000CNC)
精度 (20ºC 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4000CNC)
*H: 为基于水平位置的测量高度 (mm)
测针运作: 弧形移动 测针方向: 向下 测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 70º, 向下: 70º (使用配置的标准测头， 依表面粗糙度而定)
测针针尖 尖端半径: 25μm, 硬质合金尖端
表面粗糙度测量的技术参数: X1 轴
测量范围: 200mm 分辨率: 0.05μm 检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC) 0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s 直线度: 0.5μm / 200mm a 轴 倾角: -45º - +10º
分辨率: 0.000225º 旋转速度: 1rpm Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm 分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
检出器 (选件) 范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测针选件时，最大可达2400μm)
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石, 90º / 5μmR (60º / 2μmR: 低测力型)
检测方法: 差动电感式
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