三丰SJ-500P技术参数: SV-2100 M4 (PC 型)
技术参数: SJ-500P X1 轴 (驱动部)
测量范围: 50mm 分辨率: 0.05μm
长度基准: 线性编码器
驱动速度: 0 - 20mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向后
直线度: 0.2μm / 50mm
定位: ±1.5º (倾角, 有DAT 功能)
30mm (向上／向下) 检出器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm 检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 参见性能参数表
测针针尖: 参见性能参数表
导头曲率半径: 40mm
类型: 差动电感式
驱动装置的控制: PC 操作
三丰SJ-500P技术参数: SV-2100 M4 (PC 型)
X1 轴 (驱动部) 测量范围: 100mm
分辨率: 0.05μm 长度基准: 线性编码器
驱动速度: 0 - 40mm/s
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向后 直线度: 0.15μm / 100mm
Z2 轴 (立柱) 类型: 手动操作
垂直移动: 350mm 检出器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
检测方法: 无轨／有轨测量
测力: 参见性能参数表
测针针尖: 参见性能参数表
类型: 差动电感式
驱动装置的控制: PC 操作
评价能力: SURFPAK-SV
评价轮廓:
P (原始轮廓), R (表面粗糙度轮廓), WC, WCA, WE, WEA,
DIN4776 轮廓, 包络残余线, 粗糙度motif, 波形motif
评价参数:
Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv,
Rvmax, Rvi, Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr,
dc, plateau ratio, mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la,
lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
粗糙度motif 参数: Rx, R, AR, SR, SAR, NR, NCRX, CPM
波形motif 参数: Wte, Wx, W, AW SW, SAW, NW
分析图表:
ADC, BAC1, BAC2, 功率谱图, 自相关图, Walsh 功率谱
图, Walsh 自相关图, 倾斜分布图, 局部峰值分布图,
参数分布图
滤波类型 2CR-75%, 2CR-50%, 2CR-75% (相位校正),
2CR-50% (相位校正), 高斯-50% 截止波长*:
lc: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fl: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
fh: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
取样长度*:0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm,25mm
数据补偿功能:
倾斜补偿，R 平面(曲面) 补偿，椭圆补偿，抛物线补偿，
双曲线补偿，二次曲线自动补偿，多项式补偿，多项
式自动补偿
* 可在0.025 至最大移动长度间指定任意长度
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