三坐标测量机的性能评价方法
2003 年改订了JIS 三坐标测量机的性能评价。在新的规格的检查项目中追加扫描测量和Rotary Table (旋转工作台) 规格。另外，还加入了“不确定度”的想法。2003 年进行了规范化，如图1 所示。
内容JIS 规格 No. 时间
1 用语JIS B 7440-1 (2003) 2003/4
2 尺寸测量JIS B 7440-2 (2003) 2003/4
3 带Rotary Table (旋转台) 的
三坐标测量机JIS B 7440-3 (2003) 2003/4
4 扫描测量JIS B 7440-4 (2003) 2003/4
最大允许示值误差 MPEE [JIS B 7440-2 (2003)]
在这个标准下，按图1 中的7 个方向，各重复3 次进行5 个试验长度的测量。从而可以得到105 个
含有长度测量不确定性的结果，如果它们都低于制造厂家的给出的规定值，那么三坐标测量机的性
能就可以得到验证。这时，虽然虽多有五个可以超过规定值(在同一位置的3 次测量以内不可以有两
个NG)，如果在该位置再反复测量10 次，如果所有10 次含有不确定性的结果在规范之内，则为合格。
最大允许显示误差必须考虑的不确定性有“长度标准器校准的不确定度”和“长度标准器校准方法
的不确定度”两种。(将此二者合成扩张而成的不确定性加入整个实验结果的值，必须在规定值以下)
这一规格以微米(μm) 为单位，用以下3 种之中的某一种来表示。
MPEE＝A＋L/K≦B A ：生产厂家提供的常数(μm)
K ：生产厂家提供的无因次常数
L ：测量的长度(mm)
B ：生产厂家提示的规格的上限值(μm)。
最大允许探测误差 MPEP [JIS B 7440-2 (2003)]MPEE＝A＋L/KMPEE＝B
测量检测用标准球上的目标点(图2 ：25 点)，并根据所有的测量点计算最小二乘法球的中心。进而
对25 个测量点，计算每个点到最小二乘法球中心的距离R，求出Rmax-Rmin 值，这个值再加上“测
针头形状的不确定度”和“检测用标准球形状的不确定度”合成的扩张不确定性的值，如果得出的
值在规定值以下则为合格。
最大允许扫描测量误差 MPETHP [JIS B 7440-4 (2003)]
搭载扫描探针时的精度规格。在JIS B 7440-2 (2003) 中才得以规范化。扫描测量检测基准球的4 个
指定的截面，相对于使用4 个截面所有测量点计算出的最小二乘法球中心，以使用所有测量点的存
在范围(图3-A 尺寸) 和4 个截面所有测量点计算出的最小二乘法球的中心为基准时，计算校正过的
基准球半径值与最大测量点之间的距离，或者与最小测量点之间的距离中较大的值(图3-B 尺寸)，上
述各值分别加上“测针头形状的不确定度”和“检测用标准球形状的不确定度”合成的扩张不确定
度的值，得出的值如果都在规定值以下则为合格。
最大允许旋转轴半径方向误差 MPEFR，
最大允许旋转轴切线方向误差 MPEFT，
最大允许旋转轴轴方向的误差 MPEFA [JIS B 7440-3 (2003)]
Mitutoyo日本三丰 在Rotary Table (旋转工作台) 上像图4 那样设置两个基准球，在0º 及+ 方向上7 处，– 方向上7 处，
合计15个位置上旋转工作台，测量每个基准球的中心坐标。此时，如果基准球中心坐标的半径方向成份、
切线方向成份、旋转轴轴方向成份各自的偏移(范围) + 基准球形状的不确定度之和如果在规定值以下
则为合格。
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